Descrição
Materiais XinghuiO SiC Epitaxial Insulation Felt é uma solução de isolamento térmico de alto-desempenho projetada especificamente paraFornos de crescimento epitaxial de SiCna indústria de semicondutores.
Feito de feltro curado de fibra curta-proprietário, o material oferece excepcional eficiência de isolamento, estabilidade química e durabilidade-de longo prazo, mesmo sob temperaturas extremas de processo.
Consiste em um conjunto completo de componentes de isolamento epitaxial, incluindo:
- Coberturas de isolamento superior e inferior
- Conjuntos de feltro de grafite semi{0}}anulares
- Revestimentos opcionais:grafite, carbono pirolítico, ouSiCrevestimento para maior proteção
embalagem e entrega
pacote a vácuo
Característica do produto
- Especialmente projetado para processos epitaxiais de SiC
- Estrutura de montagem exclusiva para desempenho otimizado
- Resistência excepcional ao choque térmico
- Alta resistência à erosão e corrosão em ambientes agressivos de fornos
- Propriedades superiores de isolamento térmico com condutividade térmica abaixo de 0,2 W/(m·K) a 1000 graus
Vantagem
- Excelente estabilidade térmica e longa vida útil sob condições extremas
- Soluções de revestimento personalizáveis para atender requisitos específicos do processo
- Eficiência energética aprimorada devido à condutividade térmica ultra-baixa
- Desempenho confiável em ambientes exigentes de fabricação de semicondutores
Aplicação do produto
Forno epitaxial de SiC
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